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施敏，梅凱瑞著，林鴻志譯，林鴻志增訂 國立陽明交通大學2016/06/01
第一章──更新四張圖，並加入2000年後新興製程與元件技術的發展。 第四章──更新一張圖，並加入浸潤式微影、雙重成像與深紫外線微影技術之資訊。 第五章──增加電漿內組成與性質的介紹，以及對蝕刻機制...
施敏，梅凱瑞著，林鴻志譯 國立交通大學2008/12/01
本書清楚解釋從晶體成長到形成積體元件與電路的製造過程中，所有主要步驟的理論與實作層面的重點。各章穿插附有題解的範例，及學習目標與重要觀念的總結，並附習題為讀後作業。適合作為物理、化學、電機工程、化學工...