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半導體製程概論
- 編/著/譯者 ／
施敏，梅凱瑞著，林鴻志譯
- 出版機關 ／
國立交通大學
- 出版日期 ／
2008-12
- 主題分類 ／
科學技術
- 施政分類 ／
大學及研究所教育
- ＩＳＢＮ ／
9789868439535
- ＧＰＮ ／
1009703436
- 頁數/張數/片數 ／
440
- 裝訂 ／
平裝
- 定價 ／ NT$
600
-
9
折優惠價 ／ NT$
540
簡介
本書清楚解釋從晶體成長到形成積體元件與電路的製造過程中，所有主要步驟的理論與實作層面的重點。各章穿插附有題解的範例，及學習目標與重要觀念的總結，並附習題為讀後作業。適合作為物理、化學、電機工程、化學工程和材料科學等系所之大四或碩一階段之教材。亦可配合學校實驗室進行相關實作教學，及做為半導體產業界工程師與科學家的參考資料。
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