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半導體製程概論(增訂版)

施敏,梅凱瑞著,林鴻志譯,林鴻志增訂 國立交通大學2016/06/01

第一章──更新四張圖,並加入2000年後新興製程與元件技術的發展。 第四章──更新一張圖,並加入浸潤式微影、雙重成像與深紫外線微影技術之資訊。 第五章──增加電漿內組成與性質的介紹,以及對蝕刻機制的描...



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