LED製程化學清洗設備操作安全性研究

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LED製程化學清洗設備操作安全性研究

  • 編/著/譯者 / 張承明、王子奇
  • 出版機關 / 勞動部勞動及職業安全衛生研究所
  • 出版日期 / 2014-03
  • 主題分類 / 衛生福利勞動
  • 施政分類 / 勞動及人力資源
  • ISBN / 9789860408263
  • GPN / 1010300752
  • 頁數/張數/片數 / 200
  • 裝訂 / 平裝
  • 定價 / NT$ 300
  • 9 折優惠價 / NT$ 270
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簡介

國內LED產業之化學清洗設備(wet bench)無論在採購、操作以及維護保養等情況與一般半導體與光電產業之wet bench均有所差異,本計畫針對LED產業使用之wet bench實施危害分析及使用安全性調查,主要目的在於提供該產業在採購、維修保養等查核基準。
研究主要成果如下:(1) 針對國內LED產業蒐集相關職災案例共15件,並進行災因分析;(2) 針對國內LED產業6個廠進行wet bench使用安全性調查,並完成統計分析;(3) 依照國內LED產業wet bench使用功能將設備分成27種類型,並參照相關國內外法規與標準、蒐集之產業職災案例、以及產業設備使用安全調查結果,依照各種設備類型建置wet bench設備安全查核表;(4) 透過國內LED產業訪視與資料蒐集,針對現場情況進行FTA、FMEA以及JSA風險評估分析;(5) 將FTA、FMEA以及JSA風險評估分析結果與wet bench設備安全查核表結合,製作出可供國內LED產業在採購、操作、維護使用之wet bench設備使用危害預防指引。
研究的建議如下 (1) 加熱器失效、化學品不相容反應、電氣短路以及靜電等因素建議業者將其作為採用Semi標準時的重點項目;(2) 國內LED產業wet bench設備採購主要以客製化為主,採購時廠商已經考量之重點為設備構造材質、液位偵測器與過溫失效安全連鎖,建議業者在採購、操作與維護上應多加注意電氣安全;(3) 有關化學清洗槽系統運作之管理及安全措施,建議須有一套評估化學品不相容性之標準作業流程,及設定變數操作人員權限,並確保維修作業或異常狀況排除時之互鎖功能。


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