三氯矽甲烷危害特性分析   IOSH98-H304

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三氯矽甲烷危害特性分析 IOSH98-H304

  • 編/著/譯者 / 張振平
  • 出版機關 / 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所
  • 出版日期 / 2010-02
  • 主題分類 / 勞工安全
  • 施政分類 / 勞工安全衛生
  • ISBN / 9310099007592
  • GPN / 1009900759
  • 頁數/張數/片數 / 35
  • 裝訂 / 平裝
  • 定價 / NT$ 150
  • 9 折優惠價 / NT$ 135
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簡介

本研究旨在探討半導體及光電產業製程中所使用之三氯矽甲烷 (trichlorosilane, TCS),因洩漏燃燒時之鹽酸氣膠、鹽酸氣體及氯氣之排放特徵與排放率。本研究建置一暴露腔在設定空氣置換率為6 ACH時,針對五種不同相對濕度 (RH,50 %、60 %、70 %、80 %及 90 %;各重複三次),進行TCS燃燒實驗,同時並針對其產生之鹽酸氣膠、鹽酸氣體及氯氣實施採樣及分析。鹽酸氣膠係利用微米及奈米微孔均勻沉積衝擊器 (Nano- and Micro-Orifice Uniform Deposit Impactor, Nano-MOUDI及MOUDI)實施粒徑分布採樣。鹽酸氣體及氯氣依據NIOSH 7903及NIOSH 6011分別利用矽膠管(silica gel tube)及銀膜濾紙(silver sampler)進行樣本採集。全部鹽酸氣膠、鹽酸氣體及氯氣均以以離子層析分析技術 (Ion chromatography with electron capture detection, IC-ECD)進行分析。
研究結果發現如下 (1)燃燒後生成物以鹽酸氣膠為主 (濃度為1.30×105-1.46×105 mg/m3),次為鹽酸氣體 (6.38×103-11.3×103 mg/m3),最後為氯氣 (1.91×103-2.18×103 mg/m3);(2)鹽酸氣膠之粒徑分布以累積群微粒(accumulation mode)為主,其質量中位粒徑(Mass Medium Aerodynamic Diameter , MMAD)均介於0.808-1.35 m;幾何標準差(Geometric Standard Deviation , GSD)介於2.13-3.50。鹽酸氣膠主要會沉積於肺泡區(佔全部氣膠之86.7 %-88.8 %),其次依序為胸腔區 (6.8%-10.7%)及頭區 (4.7%-6.7%)。(3)從燃燒前後之質量平衡的結果亦可發現,燃燒後產物所測得之氯原子為燃燒前之90.1-93.1 %,校正後之污染物其排放係數 (EF)及排放率 (ER)如下:(i) 鹽酸氣膠EF為713.7-741.7 mg/g TCS; ER為6715.7-7404.1 mg/mi);(ii) 鹽酸氣體EF為37.2-56.3 mg/g TCS; ER為338.1-584.0 mg/min;(iii) 氯氣EF為9.50-11.6 mg/g TCS; ER為98.6-112.7 mg/min。(4) 本研究亦發現RH之變化並未對鹽酸氣膠、鹽酸氣體及氯氣之組成有顯著影響,主要係因各測試條件下腔體之RH均可達飽和所致。為保護勞工健康,本研究建議TCS作業場所應置備全面體複合式之呼吸防護具,以防止TCS洩漏燃燒產生鹽酸氣膠、鹽酸氣體及氯氣所造成之健康危害。


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