高科技行業金屬有機化合物危害調查-以磊晶製程為例   IOSH98-H302

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高科技行業金屬有機化合物危害調查-以磊晶製程為例 IOSH98-H302

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簡介

高科技產品生命週期短暫,在市場銷售壓力下,總是以不完整的MSDS權充,壓縮執行危害辨識時間,及風險評估的完整性,忽視其必要性與重要性。本研究在調查金屬有機化合物應用於磊晶製程之危害,修正金屬有機化合物之物質安全資料表,完成金屬有機化合物危害預防,以提供主管機關及產業界參考。
依照本計畫研究流程進行問卷調查分析、廠商現場訪視及專家諮詢座談會等方式,計已完成蒐集發光二極體 5 家,7 項製程與廠務資料。有關重要成果如下:(一)以GHS格式補充修正10種金屬有機化合物之物質安全資料表,涵蓋三甲基鋁、三甲基鎵、三乙基鎵、三甲基銦、二乙基碲、異戊稀環鎂、肆二甲胺基鈦、肆二乙胺基鈦、二甲基鋅、二乙基鋅。(二)完成金屬有機化合物危害預防技術手冊。
本調查研究顯示金屬有機化合物具有發火性、禁水性、腐蝕/刺激皮膚和眼睛、環境危害。如金屬有機化合物暴露於空氣或水中就會自燃,並產生大量有毒氣膠。
本研究已完成上述10種物質MSDS之初步修正,但仍建議依GHS標準修訂程序,謹慎研商、修訂及公告。此外,亦應積極評估金屬氧化物如:氧化鋁、氧化鎵、氧化銦、氧化碲、氧化鋅等之風險評估與緊急洩漏應變計畫。二甲基鋅與二乙基鋅於調查中顯示使用量有增加之趨勢,如未來高科技與光電產業有使用上述材料之需求,建議規劃整合性研究以建立二甲基鋅及二乙基鋅危害預防技術。


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